DHM

3D リアルタイム光学トポグラフィー顕微鏡
Lyncee Tec 社は、顕微鏡で初めて以下を兼ね備えます：
	ナノメータ解像度リアルタイム全視野を単一取り込み（スキャン無に）非侵襲の 3D 観察
この革新的技術をデジタルホログラフィック顕微鏡 (DHM) と呼びます。　ホログラフィーにこのデジタルアプローチは、ビデオ顕微鏡では為し得ないレベルでコンピュータベースの処理を可能にします。
DHM 原理機能
光学収差用のソフトウェア補正デジタル画像フォーカスサンプル傾斜と環境外乱のデジタル補正
DHM をナノメートルスケールでのルーチン検査に使用するために堅牢で使い易く、ミリメートルスケールまで使用できます。　さらに、使いやすさと生産性は、標準の顕微鏡対物レンズ (長作動距離、液浸、高 NA 等)、カバーガラス用の自動補正、およびオプションの電動ステージの広い選択肢で最大化できます。 DHM 機器の特徴は、革新的な研究開発から製造ラインでの品質管理まで、製品の全体の開発サイクルに従い、製造プロセスの定量的な最適化を通して、ユニークな解決策を提供します。

DHM 概略原理
DHM の強みは、Off-Axis ホログラム＊１を利用していることです。　Off-Axis ホログラムとは、図 2 の対象物からの光（物体光）と参照光が同じ軸上にはなく、θ（数度）角度を持たせてホログラム画像を取得することです。 On-Axis（ θ = 0 ）の場合には、3D 画像を作成するために、数枚のホログラムが必要なのに対し、Off-Axis では、1 枚のホログラムから 3D 画像を作成できます。　この画像を記録するのに数 10 μsec しかかかりません。　高速カメラを使用すれば、1 秒間に 10,000 画像を取り込むことも可能です。 PC 内に取り込んだホログラムの位相と振幅強度の信号を演算して、3D 画像を作成し、表示します。　演算速度は、10 分の 1 秒で、垂直解像度は、ナノメータスケールです。　位相と振幅強度信号には定量情報も含まれていますので、幅・高さ・角度・表面粗さ・うねり・形状等の各種計測が可能となります。
	図 2　off axis ホログラフムを使ったホログラムの構成の原理：「参照」光 (R) と「物体」光 (O) の間の干渉は、角度 θ の伝播方向の違いを持っています。写真は、ホログラフィの発明者の Denis Gabor です。
＊１ E. Cuche, P. Marquet and C. Depeursinge, "Simultaneous amplitude and quantitative phase-contrast microscopy by numerical reconstruction of Fresnel off-axis holograms," Appl. Opt., 38, 6994-7001 (1999).

反射または、透過型の顕微鏡を使い、ホログラムを記録することができます。　反射型に構成された機器の原理は、図 3 で説明されます。　物体光は、対物レンズを経由してサンプルを照明します。　戻ってくる散乱した波面は、対物レンズで集められ、次に、カメラにホログラムを形成するために参照光と再結合されます。参照光の光路長は、ミラーユニット M を動かすことで物体光の光路長と同じになるように調整しなければなりません。　光源のコヒーレンス長は、 0.5 mm です。　そして、2 つのビーム長の違いが、この値を超えるなら、ホログラムは、形成されません。
	図 3　反射型 DHM の光学原理：光源（レーザダイオード）は、2 つに分離されます。：物体光 (青色 O ) と参照光 (緑色の R )。
図 3　反射型 DHM の光学原理：光源（レーザダイオード）は、2 つに分離されます。：物体光 (青色 O ) と参照光 (緑色の R )。

概略光路図
透過型光路図

反射型光路図
1 波長反射型光路図	2 波長反射型光路図

位相測定
反射型原理
⊿d = ⊿Φ λ / 4π n medium 単位： radians
透過型原理

⊿d = ⊿Φ λ / 2π ( n structure - n medium ) 単位： radians
DHM の主な特徴
リアルタイムイメージング
ビデオレートでの画像取得と早いデジタル再構築 (標準で 15 fps で、オプションで、より早く可能) は、リアルタイムイメージングを可能にします。　したがって、動的な事象の観察や観察された現象の活発な相互作用を可能にします。
堅牢で、安定
短い画像取得時間は、(数マイクロセカンド) 外部振動に敏感でなくなり、防振台の必要性をなくします。　その安定性は、長期間の実験のシーケンス画像取得を可能にします。
高解像度
垂直 (Z) 軸に沿った 1 nm 未満の干渉計の Z 軸解像度。　従来の光学顕微鏡と同じように対物レンズ (油浸対物レンズで最大 300 nm ) の開口数によって、平面解像度（XY 面) は、決定します。
非接触で、厳密に非侵襲
サンプルを照明するのに低いパワーの光を使用して、画像を形成します。　サンプル表面は、DHM との物理的な接触は、決してなく、その結果、サンプルの特性の維持を確実にします。　コントラスト増強なしに生物標本を観察できます。
費用対効果の良い解決策
DHM は、低価格の装置、そして、ランニングコストです。　適応性と柔軟性は、高解像度顕微鏡分野で非常に競争力を持ちます。　これらのすべての特徴は、研究開発と生産における品質管理のために DHM を費用対効果の良いツールにします。
ユーザーフレンドリー
サンプルの前処理がなく、特定の環境でなく (温度、真空等）、高い位置精度、またはサンプルの向きに関係なく、DHM の簡単さは、迅速で信頼できる測定のためにユーザフレンドリーなツールにします。　デジタルフォーカスのテクニックは、焦点深度を増やす時に、画像のシャープさの微調整を簡単にします。
強力な 3D ソフトウェア
ソフトウェアは、表面の完全な解析をするユーザフレンドリーなグラフィカルユーザインタフェースを持っています。　さまざまな 2D、そして、3D プロットとムービー (AVI) 形式でサンプルを表現できます。　外部のソフトウェアか、ハードウェアとの相互作用は可能です。　オプションには、周期的な高周波動作のストロボ観察用にカメラとの同期を可能にします。
広い対物レンズの選択肢
DHM には、顕微鏡対物レンズの最も広い利用可能な選択肢があります。　あらゆる標準顕微鏡対物レンズで構成できます。　この多能性は、あなたのアプリケーション (高 NA、長作動距離、油または、水浸等) に最も良く適合する対物レンズで動作させることを可能にします。
電動強度バランス
内部の電動照明モジュールは、サンプルに最適な照明を保証します。　異なったサンプル反射率で動作しているとき、どんな対物レンズの切換えも必要ではありません。
自動コヒーレンス補正
DHM は、空気中と同様に浸かったサンプルの測定、そして、ガラスプレートで覆われたサンプルの測定を可能にします。　最適の、そして、正確な補正をあらゆる厚さと屈折率に実行します。
オートフォーカス、ステッチングとオートメーション
オプションの電動ステージは、オートフォーカス、ステッチング、そして、広い領域にわたりオートメーション測定を可能にします。
校正不要
垂直の校正は、単に波長によって決定されます。　サンプルステージか、または偏光子等のようなどんな機械的な動作も校正に必要としません。
十分なコヒーレンス長
コヒーレンス長は、画質の損失なしに焦点深度までのあらゆる垂直変位の測定を確実にするのに十分な長さです。

反射型デジタルホログラフィック顕微鏡
反射型 DHM は、完全に、そして部分的に反射する対象物に理想的です。　低反射面で働くそれらの能力 (1 % 未満の反射率) は、広範囲のさまざまなサンプルの正確な光学トポグラフィー測定のために理想的なツールにします。　その高い画像取得レートと使いやすさのおかげで、DHM は、素早いルーチン検査、研究開発アプリケーションと同様に自動化された産業界の品質管理、特に、動的な観察を可能にします。
DHM R シリーズカタログ	（和文）

ラインアップ
DHM R 2200 シリーズ
同時 2 波長、および互光式 2 波長、1 秒間に 15 測定で、垂直ステップ高さ 15 ミクロンまで測定可能。
DHM R 2100 シリーズ
同時 2 波長、1 秒間に 15 測定で、垂直ステップ高さ 3 ミクロンまで測定可能。
DHM R 1100 シリーズ
互光式 2 波長、1 波長の垂直測定範囲を拡げる。
DHM R 1000 シリーズ
1 波長、リアルタイムで費用対効果に優れたサブナノメートル解像度。

反射型同時／互光式 2 波長デジタルホログラフィック顕微鏡 DHM R 2200- R 2100 シリーズ
	干渉顕微鏡のリアルタイム測定に新しい技術が加わりました。　DHM R 2200 ファミリーは、同時に 2 波長で測定を実行します。　その革新的な光学系は、共有の物体光路とカメラで、2 つの入れ子にされた DHM から構成されて、3 つの光源を装備します。　データの同時記録は、干渉顕微鏡でミクロン範囲にわたる最も速い測定を結果としてもたらします。　画像取得時間が短いため、ボケを回避し、その結果、外部振動に対して高い測定精度と堅牢性を保証します。　測定のリアルタイム表示は、DHM の使いやすさと効率を保証します。　垂直コヒーレンススキャニングモジュールで測定範囲をさらにミリメートル範囲まで拡げます。
DHM の原理によって、提供された 2 波長リアルタイム測定モードには、以下のユニークな特徴があります：
Z スキャニングや波長切り替えなしに最大 15 μm までのステップ高さに測定範囲を拡大 1 波長と 2 波長両モードでのリアルタイム測定とビデオレートでフルフレームの位相と強度画像表示マッピングアルゴリズムを使用して完全な垂直範囲のサブナノメートル解像度同じツールで提供する 2 波長測定は、使いやすく、そして、1 波長と同様に振動に影響されない
2 波長モード：速度と使いやすさを維持
DHM R 2200 ファミリーは、2 つの干渉を同時に同じカメラ上で撮像できます。　両方は、同じホログラムに記録され、次に、個別に再構築されます。　それらは、まるでサンプルが、合成波長と呼ばれる 2 つの単色波長の低周期ビート波長に同等な 1 波長で画像を取得するかのように、測定範囲を数ミクロンまで拡げ、ビデオレートで結合されます。　2 波長モードの動作は、1 波長と同じです。　シーケンス画像取得、粗さ測定、時間モニタリング等と同じ操作性を提供します。　サンプルの高さによって、1 波長データか、または、それらの合成波長データのどちらかでリアルタイム測定を実行できます。　すべての情報を同時にホログラムに記録するので、測定レンジの切り替えは、1 波長画像取得時間内で可能です、そして、測定は、別に演算されます。
3 つの光源：より高い垂直範囲
R2200 シリーズは、2 番目の光源に代わり 3 番目の光源と切換えられます。　その結果、さらに測定範囲を拡げる 2 番目より大きい合成波長を構成します。　DHM R 2101 と R 2201 は、3 μm 短合成波長があります。　R 2201 の 3 番目の光源は、15 μm 長合成波長を追加します。　両モデルとも 1 波長オプションの Lyncee Tec 社ストロボスコピックモジュールと互換性があります。
マッピング：垂直解像度の維持
合成波長、そして、1 波長データを組み合わせる強力なマッピングアルゴリズムのおかげで 2 波長測定範囲にわたって、1 波長測定のサブナノメートル垂直解像度を維持できます。　短い合成波長に関して、マッピングは、単一画像取得で実行されます。　より長い合成波長に関して、短い合成波長測定は、マッピングに必要です。　長い、短い 2 波長の交互測定は、そのために実行されます (画像取得時間： 500 ms)。
DHM R 2100-2200 シリーズカタログ	（英文）	（和文）
反射型互光式 2 波長デジタルホログラフィック顕微鏡 DHM R 1100 シリーズ
	反射型高精度光プロファイラーの DHM R 1100 シリーズは、デジタルホログラフィック顕微鏡に基づく究極の技術を提供します。　DHM R 1000 シリーズの特徴、多能性、そして、使いやすさを維持します。　同じリアルタイム性能をこれらの機器に提供する 1 波長モードに加えて、DHM R 1100 シリーズには、2 つの追加オペレーティングモードがあります：
最大 10 μm 段差と滑らかなサンプルで対物レンズの焦点深度までの早い測定のための互光式の 2 波長モード最大 10 mm の垂直な寸法測定用の垂直コヒーレンススキャニングモード
DHM R 1100 シリーズは、MEMS / MOEMS の直感的な検証のためのオプションのストロボスコピックモジュールと互換性があります。　信号発生器は、モジュールに統合されています、そして、強力な Koala ソフトウェアは、サンプルを駆動して、完全な周期に沿って全視野トポグラフィーを回復するためにリアルタイムモードと同様の方法で、画像取得に同期することを可能にします。 off-axis ホログラフィーの原理は、単に波長により決定される垂直方向の校正を保証します。　どんな機械的な動作も校正に必要としません。　その結果、DHM の 1 波長、そして、2 波長モードは、市販のシステム誤差原因が最も少ない光学プロファイラーです。　その結果、DHM は、高精度だけではなく、究極の精度をも確実にします。 DHM R 1100 シリーズは、移動範囲 300 mm × 300 mm までの手動か、または、電動ステージと適合できます。
DHM R 1100 シリーズカタログ	（英文）	（和文）
反射型 1 波長デジタルホログラフィック顕微鏡 DHM R 1000 シリーズ
	DHM R 1001 は、デジタルホログラフィック顕微鏡技術に基づく反射型の高精度の光学プロファイラーです。　非接触の全視野 3D 光学表面トポグラフィー測定は、ビデオレートで実行され、サブナノメートルの定量的な動的、そして、静的な測定のための理想的なツールです。 DHM 原理は、以下を保証します。
表面解析のための迅速で信頼できる結果粗さ測定限界寸法測定
ホログラフィーへのデジタルアプローチは、ビデオマイクロスコピーでこれまで為し得ないレベルでコンピュータベースの操作を可能にします。　特にソフトウェアは、以下を可能にします。
サンプルの同時の強度と位相マップサンプル傾斜と環境外乱の数値補正デジタル画像フォーカス
その結果、デジタルホログラフィック顕微鏡は、ルーチン観察、品質管理、および研究のための堅牢で高信頼の機器です。　さらに、使いやすさと生産性は、DHM のユニークな特徴によって最大化されます：
利用可能な顕微鏡対物レンズの広い選択肢：あらゆる標準顕微鏡対物レンズで DHM を構成できます。　この多能性は、あなたのアプリケーション (高 NA、長作動距離、油または水浸等）に最も適合する対物レンズで動作させることを可能にします。内蔵の電動照明モジュール：サンプルの最適な照明を確実にします。　異なったサンプル反射率で動作しているとき、どんな対物レンズ切り替えも必要としません。自動コヒーレンス補正： DHM は、空気中と同様に浸したサンプルやガラスプレートで覆われたサンプルの測定を可能にします。　最適で、正確な補正は、あらゆる厚さと屈折率で実行されます。オプションの電動ステージは、オートフォーカス、ステッチングを可能にします、そして、広範囲にわたり自動測定します。垂直方向の校正は、波長で決定するだけで、校正されるべき機械的な動作部分がありません。
DHM R 1001 は、R 1100 シリーズにアップグレードできる費用対効果に優れ、進化する機器です。　電動ステージをオプションで用意されます。
DHM R 1000 シリーズカタログ	（英文）	（和文）

透過型デジタルホログラフィック顕微鏡
透過型 DHM は、市販で唯一の透過型光学プロファイラーで構成されます。　デジタルホログラフィック顕微鏡技術に基づいたビデオレートで実行されるその非接触全視野 3D 光学トポグラフィーは、定量的な動的と静的な統計測定のための理想的なツールです。
ラインアップ
DHM T 1000 シリーズ
1 波長、リアルタイムで費用対効果に優れたナノメートル解像度。

透過型 1 波長デジタルホログラフィック顕微鏡 DHM T 1000 シリーズ
	定量的な位相測定を提供して、透過型顕微鏡は、以下のような位相対象物を特徴付けるために無比の可能性を提供します：生物学上の媒体マイクロ光学マイクロ流体工学
生命科学アプリケーションでは、DHM は、あらゆるコントラスト増強の追加なしに、そして、大変低い照明パワーで、正確な形態測定を提供します。　その結果、小さい形状変化、または、細胞内の組成変化に非常に敏感です。　その結果、DHM T 1001 と T 1002 は、ハイスループットスクリーニング、タイムラプス測定および時間モニタリングに理想的な機器です。　DHM T 1001 には、同時に DHM - 蛍光測定を可能にする蛍光モジュールを用意しました。　また、DHM T 1002 には、ストロボスコピックモジュールと互換性があります。
マイクロ光学か、またはマイクロ流体のような透明か、半透明な材料工学アプリケーションでは、DHM は、サンプルの形状、屈折率、および光学伝達関数の情報を提供する透過波面を測定します。　浸液は、マイクロコーナーキューブ、フレスネルレンズ等のような急勾配のサンプルの特徴化に使用されます。
さらに、使いやすさと生産性は、DHM のユニークな特徴によって最大化されます：
利用可能な顕微鏡対物レンズの広い選択肢：あらゆる標準顕微鏡対物レンズを DHM に構成できます。　この多能性は、アプリケーションに最適な (高 NA、長作動距離、油または水浸等）対物レンズで動作することを確実にします。自動コヒーレンス補正： DHM は、浸かったサンプルやガラスプレートで覆われたサンプル測定を空気中と同様に可能です。　最適で、正確な補正は、あらゆる厚さと屈折率にも実行されます。広い領域にわたるステッチングとタイムラプス測定を可能にする最大 200 mm × 200 mm のサンプル用で、最大 200 mm × 100 mm × 20 mm 移動範囲のオプションの電動ステージも用意されます。
DHM T 1000 シリーズカタログ	（英文）	（和文）

Koala ソフトウェア
	Koala ソフトウェアは、必須構成要素です、DHM テクノロジーの革新的な概念のほとんどを含んでいます。　DHM 特有の機能に加えて、Koala は、フレキシブルでユーザフレンドリーな環境で、多くのさまざまな標準ツールとデータ処理、測定、および外部コントロールのための高度な特徴を有しています。
オペレーティングモード
同じ機器で異なった状況を扱うための柔軟性を提供する Koala は、異なったオペレーティングモードを可能にします：
1 波長ライブモード
画像取得とデジタル再構築は、1 つの照明波長を使ってリアルタイムで実行されます。　波長の半分までのステップ高さを測定できます。
2 波長ライブモード
画像取得とデジタル再構築は、リアルタイムで 2 つの同時の照明波長を使用することで実行されます。　ビート波長 (数マイクロメータ) の半分までのステップ高さを測定できます。
互光式 2 波長モード
測定は、2 つの異なった波長で交互にホログラム画像取得によって実行されます。　それは、数マイクロメータまでのステップ高さを測定できます。
垂直スキャニングモード
コヒーレンススキャニングは、サンプルの高さ方向に実行されます。　数ミリメートルまでの高さを測定できます。
時間平均モード
時間内に数枚の画像取得を最高の垂直解像度のために 1 つの測定で平均化します。
シーケンスモード
.avi ファイルに変えることができる時系列の記録を可能にします。
オフライン再構築モード
追加測定、フォーカス修正、後処理等のために保存されたホログラム画像の再構築を後で可能にします。
ステッチングモード（オプション）
視野を広げるために X / Y 方向に画像を並べて貼り合わせるための自動操作をします。
ストロボスコピックモード（オプション）
測定される (MEMS、MOEMS 等) デバイスを動作させて、周期の間のサンプルの動作を完全に特徴付ける画像取得に同期させます。
プロダクションモード（オプション）
カスタム設計されたインタフェースは、特定のアプリケーションのためのソフトウェアと統合されます。
特定の DHM ツール
デジタルフォーカス
典型的な光学顕微鏡と比較して、50 倍までに焦点深度を改善します。　標本移動なしに、画像フォーカスの正確で簡単な微調整を可能にします。
デジタル標本傾斜補正
標本の簡単なマウスクリック傾斜補正は、機械的手段による時間がかかって、非実用的な標本方向調整を回避します。
調整可能な位相オフセット
ユーザは、標準環境で傑出している測定安定性を提供するオンライン安定化でゼロ参照を定義します。
デジタル収差補正
非適合の光学状況での正確で、そして、アーティファクトのない位相測定を可能にします。
Koala ソフトウェアの特徴
Koala は、サンプルの完全なトポグラフィーの特徴化を可能にします：
多数の表示モード
1D プロファイル、2D、そして、3D 画像、カラーパレットなど
マウス動作の相互作用
回転、移動、スケーリング、およびズームのために 3D 画像を操作します。
ステップ高さ測定
任意の方向でのプロファイル抽出
粗さとうねり測定
表面テクスチャーパラメータの計算
形状除去と表面フィッティング
Koala ソフトウェアの環境
Koala は、必ずあなたの環境に適合します：
標準的な技術プラットフォーム結果を保存する標準的なファイル形式外部コントロールに適応する柔軟性
Koala ソフトウェア仕様表	（和文）

オプション
電動ステージ
	ステッチング、オートフォーカス、そして、自動化処理のための超精密電動サンプルステージ。　DHM に接続して使用される電動ステージは、システムの可能性と柔軟性を高めます：
全自動測定高 NA 対物レンズを使用する広い表面の解析サンプルの簡単で、正確で、繰り返すことができる位置決めオートフォーカス垂直測定範囲の拡張
電動サンプルステージは、反射型か、透過型顕微鏡の DHM ファミリーと材料工学と生命科学のアプリケーションの両方のために設計された完全な座標系を有します。　ユーザによって定義された位置の反復測定サイクルは、測定を完全に自動化できます。　電動ステージソフトウェアの簡単なパラメータ化で統計、そして/または、時間間隔測定を実行できます。　　ステッチングは、対物レンズで提供される視野より広い表面を解析することを可能にします。　また、より良い平面解像度、より高いサンプルスロープなどのためにより高い開口数で、サンプルを解析するために、より高倍率の対物レンズを選択することを可能にします。　含まれているモジュールは、自動的にサンプルに焦点を合わせ、各画像のために最適のコヒーレンスを捜して、結果として起こる傾斜を補正して、10,000 画像までを貼り合わせます。　完全な解像度で最大 100 画像を貼り合わせます。　より広い視野に関して、ソフトウェアは、自動的に画像をリサイズします。　電動化している Z- 軸は、反射型 DHM で垂直スキャニングを可能にします。　この測定は、垂直にサンプルをスキャンして、粗い分解能でサンプル形状を返すことで、実行されます。
主要な電動サンプルステージ性能：
最大 300 mm の X/Y 移動範囲最大 20 mm の Z 移動範囲最大速度 125 mm/s 解像度 7 nm まで最小ステップ幅 0.05 μm 再現性 0.1 μm まで最大積載量 100 kg
アルミニウムサンプルプレートは、さまざまな部品保持具とステージアクセサリーを取り付けるのに使用されます：
ユニバーサルステージホルダー、ウエハー、またはペトリディッシュ用ホルダー
適用機種：
R 2200 シリーズ、R 2100 シリーズ、R 1100 シリーズ、R 1000 シリーズ、T 1000 シリーズ
電動ステージカタログ		（英文）	（和文）
顕微鏡対物レンズ
	デジタルホログラフィック顕微鏡 (DHM) のユニークな構成は、顕微鏡対物レンズの外側に参照光路を設計します。　それは、高価で、そして、ミラウか、マイケルソン対物レンズの使用を避けて、DHM が、光学顕微鏡と同じタイプの対物レンズの使用でユニークな干渉顕微鏡にすることを可能にします。　これは、いくつかの非常に快適で実用的な問題を確実にします。　材料工学、または生命科学のアプリケーションが何であっても最もよく適合された対物レンズを使用します。
干渉顕微鏡の対物レンズの最も広い選択で、DHM は、以下の必要性のどれかを満たすことを確実にします：
空気中で 0.90 と油浸で 1.4 までの開口数の 1.25 × から 100 × までの倍率の対物レンズ扱いにくいサンプルに関する高解像度画像のための高倍率長作動距離の対物レンズサンプルが、電極、チップ、プローブ、ニードル等にスペースを必要とする電気生理学か、MEMS 特徴化のようなアプリケーションのためのコンパクトな対物レンズ水浸と油浸対物レンズ生物学用のカバーガラス補正付対物レンズ蛍光に適した対物レンズ
あらゆるガラス厚さや液体に浸かった対物レンズ、そして、ガラスプレートに覆われたサンプルの補正をして、真空下のサンプルを空気中と同様に容易に測定できます。　参照光路のコヒーレンス補正モジュールは、自動的にあらゆるガラスや液体濃度と屈折率の最適で、そして、正確な補正を確実にします。　補正は、サンプル単位で一度実行されなければならなくて、他のすべての対物レンズのために報告されます。　サンプルの反射率が何であっても同じ光学的配置を維持します。　異なったサンプル反射率で動作しているとき、ユニークな対物レンズを必要とします、そして、それが、変化するとき、操作を全く必要としません。　DHM 内部電動照明モジュールは、両方の光路間の最適なバランスを確実にします。　それで、いつもサンプルの最適な照明で動作します。　DHM 対物レンズターレットレボルバに全ての対物レンズを取り付けて、全ては、対物レンズを変えるとき、サンプルを動かさずに、一定の焦点を確実にする同じ同焦点距離を持ちます。　DHM に配分された対物レンズは、最も良い性能にテストされ、選択されます。　それらは、工場で、出荷時に校正され、構成されます。
適用機種：
R 2200 シリーズ、R 2100 シリーズ、R 1100 シリーズ、R 1000 シリーズ、T 1000 シリーズ
顕微鏡対物レンズカタログ		（英文）	（和文）
ストロボスコピックモジュール
	単一画像取得内で、超高速で動作するミクロ構造の全視野での焦点面内、そして、面外の 3D 測定を同時に実行します。　DHM に接続して使用されるストロボスコピックモジュールは、ナノメートル垂直解像度でマイクロデバイスの動的な非接触の特徴化を提供します。
主なストロボスコピックモジュールの特徴：
最大 25 MHz の周波数範囲 7.5 ns までの露光時間のユーザー選択可能なパルスレーザー主要なミクロ構造パラメータの特徴化のためのあらゆる周期か、繰り返されるインパルス駆動信号の発生外部入力信号の記録共振にアプローチする連続的な周波数スキャン
材料工学と生命科学アプリケーションの両方で提案するとき、反射型と透過型の DHM ファミリー用のストロボスコピックパッケージは、貴社製品の 3D 動的な応答測定と解析を可能にします。　アプリケーションの分野は、慣性と圧力センサ、インクジェットヘッド、光学と RF MEMS / MOEMS、カンチレバー、マイクロミラー、マイクロ燃料電池、バイオチップ、マイクロ流体素子等を含みます。　容易に、パッケージ化したデバイスのあらゆるガラス窓越しに特徴付けられ、浸かったサンプルも同様に特徴付けられます。
以下のような主要なデバイスパラメータを特徴付けることができます：
形状、変形、ひずみ、および傾斜/角度動的応答限界寸法表面テクスチャー熱膨張、弾性絶対値等
DHM モジュール設計とその専用のストロボスコピックエレクトロニクスは、MEMS プローブステーションに統合を可能にして、同時に、最大 256 枚の I/O カードをコントロールでき、駆動できます。　各々のひとつは、駆動信号を分配して、同期したデジタルとアナログ信号の記録を可能にします。　いつでも、ソフトウェア上でストロボスコピックパラメータを調整できます、そして、リアルタイムで応答を可視化できます。　その上、任意の超高速度カメラで非周期的な動作を取得することも可能にします。　直感的で強力なソフトウェアのストロボスコピックモジュールは、デバイス動作と照明を同期させて、記録して、マイクロデバイスの機能性と本当の動的特性を可視化して、解析するために Koala ソフトウェアに統合します。
適用機種：
R 2200 シリーズ、R 2100 シリーズ、R 1100 シリーズ、R 1002、T 1002
ストロボスコピックモジュールカタログ		（英文）	（和文）
蛍光モジュール
同時に蛍光測定を DHM に結合することによって、生体試料に関する詳しい情報を得ます。
適用機種：
T 1001
Possum ソフトウェア
根本的な生物学的過程を明らかにします。　Possum 後処理ソフトウェアは、根本的な生物学的過程（形態学、表面積、体積、電流、イオン交換等）に関する DHM 測定を解析して、解釈する理想的なツールです。
主な特徴
セルトラッキング
培養細胞と細胞番号付の自動か、半自動か、または手動の分割。完全な時間シーケンスに沿った領域の追跡。参照細胞に関して画像を再調整。
形態パラメータ
細胞形状、表面積、体積、およびプロファイルの時間的遷移。グラフィック表示とデータ書き出し。
シーケンス編集
記録された時間シーケンスをリサイズして、切り取り、平均化して、保存できます。
イベント編集
記録の正確な時間的情報を含むタイムスタンプファイルとイベントをシーケンスでロードします。正しいタイムスケールを検索します。記録されたイベントを表示でき、様々なグラフィックスを編集できます。